The application of molybdenum sputtering targets is mainly concentrated in flat-panel displays, thin-film solar cell electrodes and wiring materials, and semiconductor barrier materials. These materials are based on molybdenum with high melting point, high conductivity, and low specific impedance, and have good Corrosion resistance and environmental performance.
Molybdenum Sputtering Target подробности
TheПланарна мишена от молибденсе обработва от висококачествените плочи на нашата компания. Той има характеристиките на висока плътност, без вътрешни пукнатини и мехури, ярка повърхност, равномерен цвят и точен размер.
Малките мишени за предене на молибден се обработват от висококачествени пръти и имат характеристики на точни размери, гладка повърхност и висока чистота.
Редовни размери молибден въртящи се цели се произвеждат чрез процеса на горещо изостатично пресоване и имат висока плътност (плътност до 10,15 г / см3), фини зърна и добро формоване.
Конвенционална плътност: 10г / см³ ~ 10,15 г / см³;
Специална плътност на процеса: по-голяма от 10.15г / см³.
Изискванията за целите за разпръскване са по-високи от тези в традиционната материална индустрия. Общите изисквания включват: размер, плоскост, чистота, съдържание на примеси, плътност, размер на зърното и контрол на дефектите; по-високи изисквания или специални изисквания, включително: грапавост на повърхността, стойност на съпротивлението, равномерност на размера на зърното, равномерност на състава и структурата, съдържание и размер на чужди вещества (оксид), магнитна пропускливост, ултра висока плътност и ултра фини зърна и др. Той използва система за електронен пистолет, за да излъчва и фокусира електрони върху материала, който трябва да бъде покрит, така че разпръснатите атоми да следват принципа на преобразуване на импулса и да отлитат далеч от материала с по-висока кинетична енергия. Този покрит материал се нарича разпръскваща цел. Целевите материали за разпръскване включват метали, сплави, керамични съединения и др.
Магнитронното разпръскващо покритие е нов вид метод за физическо покритие с пара. В сравнение с метода на изпаряване на покритието, той има очевидни предимства в много аспекти. Като сравнително зряла технология, която е разработена, магнитронното разпръскване се прилага в много области.
Технологията за разпръскване, разпръскването е една от основните технологии за подготовка на тънкослойни материали. Използва йони, генерирани от йонен източник, за да ускори и да се събере във вакуум, за да образува високоскоростен йонен лъч, който бомбардира твърдата повърхност. Генерират се йоните и атомите на твърдата повърхност. Кинетичният енергиен обмен причинява атомите на твърдата повърхност да напуснат твърдото и да се отлагат върху повърхността на субстрата. Бомбардираното твърдо вещество е суровина за приготвяне на тънки филми, отложени чрез разпръскване, което се нарича разпръскване цел. Различни видове разпръснати тънкослойни материали са широко използвани в полупроводникови интегрални схеми, слънчева фотоволтаика, записващи медии, плоски дисплеи и повърхностни покрития на детайла.
Целите за разпръскване се използват главно в електрониката и информационната промишленост, като интегрални схеми, съхранение на информация, течни кристални дисплеи, лазерни памети, електронни устройства за управление и др.; те могат да се използват и в областта на стъкленото покритие; те могат да се използват и в износоустойчиви материали, висока температура устойчивост на корозия, декоративни консумативи и други индустрии.
Целите на молибден се използват широко в много области. По-долу са някои често срещани употреби на молибден цели:
1. отлагане на тънък филм: Целите на молибден могат да се използват за приготвяне на молибден тънки филми с помощта на физическо отлагане на пара (Тези филми обикновено имат отлични проводими свойства, високи точки на топене и устойчивост на корозия и затова често се използват за приготвяне на проводими слоеве, бариерни слоеве, метални свързващи линии и други приложения. Молибден тънките филми са често срещан материал в области като производство на интегрални схеми и тънкослойни слънчеви клетки.
2. вакуумно оборудване и топлобариерно покритие: Поради високата точка на топене на молибден, ниската скорост на изпаряване и добрата термична стабилност, молибден цели могат да се използват за приготвяне на компоненти във вакуумно оборудване, като клапани от волфрам-молибден сплав, волфрам-молибден нагреватели и др.
В допълнение, молибден може да се използва и за приготвяне на топлобариерни покрития при високи температурни приложения за подобряване на топлоустойчивостта на материалите и защита на основните материали.
3. Оптично покритие:Цели с молибденсе използват и в оптичното поле. Чрез отлагане на тънки филми от молибден могат да бъдат произведени покрития със специфични оптични свойства, като огледала, филтри и трансмисионни филми. Филмите от молибден имат добри отразяващи свойства в инфрачервения спектрален диапазон и затова често се използват в инфрачервената оптика и лазерните системи.
4.Електронни устройства: Целите на молибден също имат важни приложения в производството на електронни устройства. Например, в дисплейната технология, молибденовите филми могат да се използват като задни листове за дисплеи с добра електрическа проводимост и термична стабилност.
В допълнение, молибден се използва и като контакт, електрод и жичен материал в електронни устройства.
Изследвания на материалите и лабораторни приложения: Целите на молибден също се използват широко в научните изследвания и лабораторните приложения. Може да се използва като целев материал за изследване на растежа на филма, модификацията на повърхността и свойствата на материала.
В допълнение, молибден мишени могат да се използват и за подготовка на проби от електронен микроскоп (СЕМ), стандарти за рентгенов флуоресцентен спектрометър (XRF) и други приложения
The properties of molybdenum sputtering targets are the same as (pure molybdenum or molybdenum alloys). Molybdenum is a metallic element primarily used in steel. Most of it is directly used in steelmaking or cast iron. Small amounts of molybdenum are smelted into ferromolybdenum or molybdenum foil, which is then used to make steel. It can improve t
